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油压传感器

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浅谈陶瓷压力传感器芯片工艺

发布日期:2019-04-27 编辑: 点击:

陶瓷压力传感器芯片采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生产。传感器的定义 传感器是一种能把物理量或化学量转变成便于利用的电信号的器件。电工委员会(IEC:International Electrotechnical Committee)的定义为:“传感器是测量系统中的一种前置部件,它将输入变量转换成可供测量的信号”。按照Gopel等的说法是:“传感器是包括承载体和电路连接的敏元件”,而“传感器系统则是组合有某种信息处理(模拟或数字)能力的系统”。传感器是传感系统的一个组成部分,它是被测量信号输入的一道关口。 传感器把某种形式的能量转换成另一种形式的能量。有两类:有源的和无源的。有源陶瓷压力传感器能将一种能量形式直接转变成另一种,不需要外接的能源或激励源。

陶瓷压力传感器

无源传感器不能直接转换能量形式,但它能控制从另一输入端输入的能量或激励能,传感器承担将某个对象或过程的特定特性转换成数量的工作。其“对象”可以是固体、液体或气体,而它们的状态可以是静态的,也可以是动态(即过程)的。对象特性被转换量化后可以通过多种方式检测。对象的特性可以是物理性质的,也可以是化学性质的。压力传感器不同于压力变送器,其是按照工作原理,它将对象特性或状态参数转换成可测定的电学量,然后将此电信号分离出来,送入传感器系统加以评测或标示。
传感器原理结构 在一段弹性轴上粘贴上的测扭应片并组成变桥,即为基础扭矩传感器;在轴上固定着:(1)能源环形变压器的次线圈,(2)信号环形变压器初线圈,(3)轴上印刷电路板,电路板上包含整流稳定电源、仪表放大电路、V/F变换电路及信号输出电路。在传感器的外壳上固定着: (1)激磁电路,(2)能源环形变压器的初线圈(输入),(3) 信号环形变压器次线圈(输出),(4)信号处理电路。

压力变送器

工作过程 :向传感器提供±15V电源,激磁电路中的晶体振荡器产生400Hz的方波,经过TDA2030功率放大器即产生交流激磁功率电源,通过能源环形变压器T1从静止的初线圈传递至旋转的次线圈,得到的交流电源通过轴上的整流滤波电路得到±5V的直流电源,该电源做运算放大器AD822的工作电源;由基准电源AD589与双运放AD822组成的高的精度稳压电源产生±4.5V的精密直流电源,该电源既作为电桥电源,压力传感器芯片又作为放大器及V/F转换器的工作电源。当弹性轴受扭时,应变桥检测得到的mV级的应变信号通过仪表放大器AD620放大成1.5v±1v的强信号,再通过V/F转换器LM131变换成频率信号,通过信号环形变压器T2从旋转的初线圈传递至静止次线圈,再经过外壳上的信号处理电路滤波、可得到与弹性轴承受的扭矩成正比的频率信号,该信号为TTL电平,既可提供给二次仪表或频率计显示也可直接送计算机处理。由于该旋转变压器动--静环之间只有零点几毫米的间隙,加之传感器轴上部分都密封在金属外壳之内,形成有效的屏蔽,因此具有很强的抗干扰能力。

 

压力传感器芯片

本文网址:/news/454.html

关键词:陶瓷压力传感器芯片,陶瓷压力传感器,压力变送器

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